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换一片焦距更长的镜片,光斑会变大,焦深也会变长。两个变化同时发生,方向一致,但代价不同。
光斑由波长、焦距、入射口径、M² 决定;焦深由数值孔径决定,按焦距平方增长。
先把两个数分开,再谈取舍。
聚焦光斑的大小,先看衍射极限。圆孔近似的公式是 d≈4λM²f/(πD),d 是光斑直径,λ 是波长,f 是焦距,D 是入射光束直径,M² 是光束质量因子。
四个变量各管一段:波长越长,光斑越大;焦距越长,光斑越大;入射口径越大,光斑越小;M² 越差,光斑越大。
波长由激光器决定,10.6μm 与 1064nm 差一个数量级,同样的焦距与口径,光斑也差一个数量级。
入射口径不是镜片外径,是实际打到镜片上的光束直径;外径大、光束细,有效口径还是细的。
这是理想情况。实际光斑还要加上像差、装调误差与镜片面型的影响,通常比衍射极限大一圈。
实际光束不是理想高斯,边缘能量低;算光斑时按桶能量取,结果更接近加工效果。
衍射极限来自光的波动性,不是镜片加工精度不够。镜片做得再好,光斑也压不到波长以下。
所以公式的用途不是算绝对值,而是看趋势:改哪一个,光斑往哪边走。
d 的取法有两种:1/e² 直径与包含 86.5% 能量的桶直径。两者数值不同,比较光斑时先统一口径。
在波长、口径、M² 不变的前提下,光斑直径与焦距成正比。
以 10.6μm、入射口径 12mm 为例:f=50.8mm 时,衍射极限光斑约 57μm;f=190.5mm 时,约 214μm。焦距变为 3.75 倍,光斑也变为 3.75 倍。
焦距是杠杆。想缩小光斑,缩短焦距是直接的办法;但焦距一短,工作距离也短,镜头离工件近,夹具与飞溅容易干涉。
焦距不能无限缩短。短焦镜片曲率陡,球差与色差难控,加工与镀膜也更难。
工作距离与焦距同量级,但不等同。焦距变长,工作距离变长,设备的 Z 轴行程也要跟着加。
焦距变长,光斑变大,能量密度下降。同样的激光功率,大光斑的峰值功率密度低,切薄板时速度会慢,切厚板时反而更稳。
能量密度按光斑面积算,光斑直径翻倍,面积变 4 倍,同样的功率,功率密度只剩四分之一。
光斑与入射口径成反比。口径从 12mm 加到 24mm,光斑缩小一半。
这就是扩束镜的作用:先把光束放大,再聚焦,焦点更小。但口径不能无限加,镜片口径、镜筒尺寸、像差都会限制。
扩束镜把口径放大 M 倍,光斑缩小 M 倍,焦深放大 M² 倍;但扩束后的光束不能超过镜片有效口径。
倍率还要与后级镜片匹配。扩束后的光斑超过场镜入口,边缘会被切掉,扩束的收益被抵消。
口径变大还会改变数值孔径。NA=D/(2f),口径翻倍,NA 翻倍;NA 越大,光斑越小,焦深也越短。
所以“加口径”与“缩焦距”效果类似:都能缩小光斑,也都牺牲焦深。
口径太大会截光。镜片有效口径小于光束直径,边缘被切掉,实际 NA 变小,光斑反而变大。
焦深是焦点前后,光斑仍能满足加工要求的轴向范围。用高斯光束估算,瑞利长度 zR=πw0²/λ,焦深取两倍瑞利长度,DOF=2zR。
焦点位置落在板面上方、板面还是下方,决定割缝的锥度;焦深给出的是可调范围,不是合适位置。
焦深的实测通常用打点法:沿轴向移动工件,测不同高度的光斑或切缝,取仍满足要求的一段。
把 w0=λ/(πNA) 代进去,DOF≈2λ/(πNA²)。NA 越小,焦深越长;NA 与 f 成反比,所以焦深按焦距的平方增长。
还是那组数:f=50.8mm 时,NA≈0.118,w0≈28.6μm,焦深约 0.48mm;f=190.5mm 时,NA≈0.0315,w0≈107μm,焦深约 6.8mm。焦距变为 3.75 倍,焦深变为约 14 倍。
| 参数 | f=50.8mm | f=190.5mm |
|---|---|---|
| 数值孔径 NA | 0.118 | 0.0315 |
| 束腰 w0 | 28.6μm | 107μm |
| 光斑直径 d | 57μm | 214μm |
| 焦深 DOF | 0.48mm | 6.8mm |
| 相对变化 | 1× | 焦距 3.75×、焦深 14× |
焦深不是越大越好。焦深大,意味着光斑大、能量密度低;切厚板时容错高,切薄板时速度上不去。
焦深的判据不是单一的。有的按光斑面积增加一倍算,有的按瑞利长度算;不同判据给出的数值差两倍。比较焦深时,先问用的是哪个判据。
M² 描述光束质量。理想基模 M²=1,实际光束 M² 大于 1。
M² 进入公式的方式是乘在光斑上:M²=2 时,光斑变为 2 倍,束腰变为 2 倍,瑞利长度变为 4 倍,焦深也变为 4 倍。
但这不是免费的。光斑变大,峰值功率密度按面积下降;焦深变长,是用光斑换来的。
所以 M² 差的激光器,配同样的镜片,光斑更大、能量密度更低;要拿到同样的加工效果,只能加大功率或改光路。
M² 的测量要用光束质量分析仪,测多个位置的光斑,拟合双曲线。单点光斑说明不了 M²。
波长通常由激光器定,改不了。剩下三个:焦距、口径、M²。
要小光斑:缩短焦距、加大口径、选 M² 好的激光器。三条都指向更小的焦深。
要长焦深:加长焦距、减小口径、接受更大的光斑。三条都指向更低的能量密度。
加工上的取舍,就是在这两组之间找平衡。薄板要小光斑与高能量密度,厚板要长焦深与稳定的焦点位置;同一台设备换板厚,往往要换焦距。
换焦距之后,焦点位置、喷嘴高度、保护镜距离都要重调;焦距不是单独换一片镜片就能完事。
薄板与厚板的焦点位置也不同。薄板焦点常落在板面附近,厚板焦点要往下压;焦点位置变了,有效焦深也跟着变。
焦点往下压,割缝下部能量更足,但上部容易挂渣;焦点往上抬则相反。焦深给的是容错,焦点位置决定上下能量的分配。
焦距翻倍,焦深翻几倍?
在入射口径不变的前提下,焦深按焦距平方增长,焦距翻倍,焦深变为 4 倍。但光斑也翻倍,功率密度只剩四分之一。焦深变大,焦点位置的容差变大,但割缝的上下能量分配仍要调。
光斑能无限小吗?
不能。衍射极限给出了下限,波长越长,下限越大。10.6μm 的光斑下限比 1064nm 大一个数量级。
M² 是什么?
M² 是光束质量因子,表示实际光束与理想基模的差距。M²=1 是理想情况,实际激光器 M² 大于 1,光斑与焦深都跟着变。M² 不能靠镜片改善,只能选激光器。
| 项目 | 公式 | 说明 |
|---|---|---|
| 光斑直径 | d≈4λM²f/(πD) | 衍射极限,1/e² 口径 |
| 数值孔径 | NA=D/(2f) | 口径越大、焦距越短,NA 越大 |
| 束腰 | w0≈λM²/(πNA) | 焦点处的光斑半径 |
| 瑞利长度 | zR=πw0²/λ | 焦深的一半 |
| 焦深 | DOF≈2λ(M²)²/(πNA²) | 两倍瑞利长度 |
以上为高斯光束的估算,实际光斑还要叠加像差与装调误差。
本文数据来源于网上公开资料和亚斯光学产品手册。
